3D共聚焦顯微鏡是一款專為工業(yè)和研究所設計的全新非接觸式3D光學輪廓儀。它設計簡潔、用途多樣。S lynx能夠測量不同的材質，結構，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的**形貌測量應用。Sensofar的核心**是將3種測量方式融于一體，確保了其**的性能。配合SensoSCAN軟件系統，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗。

    單一測量技術的系統缺乏多用性。當面對一些觸及該技術的物理測量極限任務時，用戶僅有的選擇是修改測量參數。這樣的妥協將導致犧牲速度，分辨率和精度中的一個或多個。在Sensofar 的S系列測量系統中，隨“三合一”這一核心技術的來臨，您只需在SensoSCAN中輕輕點擊，系統將為您的測量任務呈現*佳的技術。這三種測量技術分別是：共聚焦，干涉和多焦面疊加。三種技術互相補充，共同成就了Sensofar**的多功能表面形貌測量性能。

    3D共聚焦顯微鏡共聚焦技術可用于測量各類樣品表面的形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達0.09μm,利用它可實現臨界尺寸的測量。當用150倍、0.95數值孔徑的物鏡時，共聚焦在光滑表面測量斜率達70°（粗糙表面達86°）。**的共聚焦算法保證Z軸測量重復性在納米范疇。

    白光干涉功能強大，廣泛應用于測量表面形貌和透明膜。它特別適用于測量光滑和適度粗糙的表面。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數都能確保納米級的縱向分辨率。

    多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據Sensofar在共聚焦和干涉技術融合應用方面的豐富經驗，特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需要。該科技的*大亮點是快速(mm/s),掃描范圍大和支援斜率大（*大86°）此功能對工件和模具測量特別有用。

    用戶只需找到測量位置， 點擊3 D 測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動調整照明亮度，自動對焦，執(zhí)行*佳的測量模式，將精準的測量結果于彈指間為您呈現。